在任何一套真空系统（低真空、中真空、超高真空）中，都离不开它的测量设备。这种设备在真空领域又称为【真空计】，真空计中测量真空度的传感元件又叫真空【规管】，在实际应用中，根据不同的系统要求及真空状态又分为电阻规、热偶计、热敏电阻计、电离规、a-b规等多种传感元件。

在超高真空的测量中，【气沉】和【气源】效应对真空规格的影响也是很严重的，但在不同形式的规管中，电离规管的这两种效应影响是最严重的。

电离规管的气沉和气源作用解读：

电子碰撞气体分子使其电离成离子，具有一定能量的离子打到规管壁上或被收集接收。这些离子被束缚在固体表面，需要300度以上的温度烘烤才能释放出来。如果规管内壁存在溅射的金属薄膜，测对氦气有很强的抽气作用。

电离规管的高温热阴极本身就是气源，它的高温热量辐射到其他电极和规管壁上上时，就会引起气体的解热吸。另外，在栅极接收电子收集离子时，也会因为发热使吸附的气体解吸。

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

在很多真空系统中，有时往往不是用一种测量仪器就能解决问题的。雅之雷德机电科技而要根据实际情况选用两种或两种以上的测量设备以互补彼此的缺点来满足所需要真空测量范围。

真空系统

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