根据市场研究机构 Yole Development的最新统计数据，全球前二十大微机电系统(MEMS)代工厂的 2011年合并营收较2010年成长了5%，超越6亿美元；不过代工业务在整体MEMS市场所占据的比例仍然相对较小。根据 Yole 统计，2011年全球MEMS市场规模为102亿美元，年成长率19%，而MEMS代工厂营收在其中占据的比例呈现减少趋势。

2011年全球MEMS代工厂排行榜上，有不少公司的表现十分亮眼；其中意法(ST)仍占据龙头地位，其MEMS代工业务营收成长了19.9%，达到2.446亿美元。Sony、Silex Microsystems与Teledyne Dalsa分别占据全球第二至第四大MEMS代工厂位置，并将其它MEMS代工厂远远拋在后头；Sony在2010年排名全球第八，2011年MEMS代工营收为4,900万美元，成长动力来自于为大客户楼氏电子(Knowles Electronics)生产MEMS麦克风。

此外Silex Microsystems的2011年MEMS代工营收成长27%，达到4,700万美元，不过名次退步了一名成为第三；Teledyne Dalsa 的MEMS代工营收在2011年成长23%，达到3,700万美元，由2010年的全球第六进步至第四。Yole 表示，Silex的高成长表现来自于该公司的硅穿孔(TSV)技术。

有不少传统MEMS代工专业厂商营收衰退，若非因为不敌竞争对手，就是难以抵挡代工价格下滑与市场占有率的流失。Yole指出，随着越来越多CMOS晶圆代工厂试图跨足MEMS领域，这些公司会面临越来越大的压力；尽管在2011年的MEMS代工厂排行榜上，那些CMOS晶圆代工厂的地位还不显著。

台积电(TSMC)的2011年MEMS代工营收成长15%，达到2,300万美元，从2010年的全球第八，进步到全球第六。X-Fab的2011年MEMS代工营收成长33%，达到1,600万美元，联电(UMC)与Tower Semiconductor的2011年MEMS代工营收则都维持在700万美元左右；此外模拟IC制造商Micrel也挤进全球前二十大MEMS代工厂排行榜，该公司已经为第一家客户进行量产，2011年MEMS代工营收为400万美元。

值得一提的是，体晶圆代工新秀GlobalFoundries在该排行榜上缺席，其MEMS代工业务营收应该会在2012年才显现；GlobalFoundries已经为无晶圆厂MEMS供货商InvenSense制造出合格产品，预期接下来会为另外几家客户进行量产。

2011年全球前二十大MEMS代工厂排行