在过去的五年中，MEMS 技术的快速发展有目共睹，新应用不断涌现，其中增长速度较为明显的主要是一些新MEMS 产品，如用于大容量通讯的MEMS 光学产品和生化市场。光学MEMS 将成为未来的一个重要视点，它有助于解决基于光纤的各种系统通讯的瓶颈问题，可进行光学信号到光学信号的直接转换，解决现有的光学—电学—光学结构信号转换所带来的麻烦，预计这种产品在2004 年可完成商品化。有关资料表明，MEMS 产品的市场到2003 有可能达到65~115 亿美元，年均增长率为20 ~30%。其中用于化学测试及处理的产品占41%，压力测量占18%，惯性测量占12%，光学8%，其它为21%，其中射频MEMS 产品将会首次突破1%。用于惯性测量的MEMS 元件，包括加速度计、微陀螺仪在2003 年预计将达到7~14 亿美元，年增长率为10~20%。化学测试产品尚没有确定的数据，主要是芯片实验室的情况不稳定。喷墨打印机头和质量流体传感器会有30~45 亿美元的市场，年增长率为24~35%。现在对光学MEMS 市场进行一个比较。MEMS 光学开关在2003 年有可能销售500~1000万套，将为市场增加4~8 亿美元的收入。

手持式显示器预计销售100~500 万套，价值1~5 亿美元。投影显示器预计销售30~100 万套，价值5~15 亿美元。显示器将会成为光学MEMS 一个主要的应用领域，例如投影显示器、便携式通讯产品和其它手持式产品的显示器。总体算来，光学MEMS市场将会达到40~60%的增长率。射频MEMS 产品主要用于麦克风、雷达系统和无线产品，其市场规模不易判断。到2003 年有可能在0.4~1.2 亿美元之间，微继电器和其它传感器以及可读写头和其它MEMS 元件应该在15~17亿美元左右。

未来十年是MEMS 重要发展的一段时期，对于MEMS 产品的生产商和使用者来说机遇无限。不过用户无需耗费大量的财力与物力来建立自己的实验室生产MEMS 产品，目前已有众多MEMS研究部门支持新生的和已有的MEMS 应用，可以根据用户需要，帮助企业进行MEMS 产品的稳定性分析、批量产品的测试或提供全套的MEMS 产品的设计和送货服务。