MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。 生活中有哪些MEMS器件？ 第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利

OXC的应用领域 光交叉互连开关（OXC）是一种N×N端口的矩阵光开关，可用于构建CDC ROADM（无色、无方向性、无竞争的可重构光上/下路复用器），如图1所示。  图1. 基于WSS和OXC的CDC ROADM结构 基于1×N端口光开关构建的OXC OXC可以通过1×N端口的光开关来构建，如图2所示，为了构建一个N×N端口的OXC模块

文章导读： VOA的优势、类型 MEMS Shutter型VOA MEMS微镜型VOA MEMS微镜型VOA中的WDL问题 MEMS微镜型VOA的WDL优化 MEMS（Micro Electro Mechanical System，微机电系统）技术被广泛应用于光纤通信系统中，MEMS技术与光学技术的结合，通常称作MOEMS技术。最为常用的MOEMS器件包括光衰减器VOA、光开关OS、可调光学

即将到来的5G应用促进全光网(AON)的升级，作为全光网中的关键部分，ROADM市场有望迎来快速增长，特别是在城域网中的应用。 MEMS光开关是ROADM中的核心器件之一。 光开关是一种光路控制装置，具有控制和切换光路的能力。 MEMS光开关基于微电子机械系统（MEMS）技术，实现了低插入损耗和高重复性的MEMS芯片的旋转镜。